ナノテクノロジーの成果を逸早く実用化するためにナノテクノロジー研究所（INT）を設置し、企業や各種研究機関との共同研究、受託研究等の受入体制を持つ実用化支援態勢を整えた。さらに今回文部科学省より「ナノテクノロジー総合支援プロジェクト」に係る「ナノレベルでの極微細加工・造型支援」事業の一環として選定を受け、ナノテクノロジーファウンドリー（略称NFD）を運営している。ここではナノスケールレベルの構造体、デバイスの素構造等をボトムアップあるいはトップダウンで形成するサービスを行う。
フォトリソあるいは電子線ソリグラフィーによる100nmスケールの微小構造体を形成する。またこのスケールで電子線により励起された反応ガスにより表面反応を促進させ、新たにパターニングを行う。さらにリソグラフィーにより形成した凹凸パターンのマスターの上にポリジメチルシロキサン等を液状で注ぎ固化させてナノスタンプを形成する。
精密に制御された電解析出および無電解析出プロセスを活用し、各種基板上に金属薄膜・微小構造体を形成する。リソグラフィーやエッチングなど種々のパターニングプロセスと組合せることで、ナノ電極、MEMS（Micro Electro Mechanical System）、さらに各種マイクロ・ナノシステム構築のための構造体をウェハスケールで形成可能である。
シリコンおよびガラスをベースに高アスペクト比エッチング加工、反応性イオンエッチングあるいは電気化学エッチング等を用いて、マイクロセンサやMEMS、マイクロリアクタセル、電気泳動分析チップ等のマイクロ構造体を作製する。
早稲田大学ナノテクノロジーフォーラム（略称NFM）は、 ナノテクノロジーによる産業立国を期して、早稲田大学がナノテクノロジーに関する産官学の多様かつ 緊密な連携を進める「場」です。会員により構成され会員の自主的な運営により熱い議論を交わす「場」 となることを目指しています。具体的には、会員の発議によって部会を設置し、会員からの問題提起に基づき、 産業シリーズ探索から応用技術開発まで研究・開発のさまざまな段階における課題について、講師、パネリストを 学内外の広い範囲から選び、会員を交えて「活発に討議を行う場」として、講演会、パネル討論会、 研究会、見学会等の形式をとり、定期的に開催されます。現在設置されている部会は、「機能無機材料」「 情報機能材料」「マイクロ／ナノフォトニクス」「ナノ構造システム」「ナノ／マイクロセンシングシステム」 「バイオマイクロシステム」等ですが、ナノテクノロジーをこれらの切り口で、より対象をフォーカスし議論 を交わします。また、早稲田大学ナノテクノロジーファウンドリーの機能を活用し、様々なサービスを受けること ができ事業化の推進に有効活用することができます。
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